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2009年6月5日 星期五

EOS & ESD

EOS主要特徵:
定義:爲一受較長時間(~ms) 、較高電壓及大電流所damage的事件.
時機:當電壓或電流超過 datasheet所定之最大值時易造成産品物性 damage.
現象:
(a)電性:一般會使得産品造成金屬short 、leakage or function fail.
(b)物性:使用較低倍顯微鏡(OM100X)即可發現這種damage ,常發生於上表面的護層(passivation)至金屬介面.
(c)所有EOS damaged位置易出現褪色的物性 (Discoloration),由於金屬已被燒毀.

ESD主要特徵:
定義:此事件所發生的時間非常短 (pico to nano(1012~109)-sec, 不超過200ns) 能量相當大(電流爲安培-level).
時機:人體放電模式, 機器放電模式, 元件充電模式, 電場感應模式.
現象:
(a)電性:一般會使得産品造成Leakage or function fail.
(b)物性:所造成的物性破壞爲次表面(下層)damage.
(c)分析:必需經由漏電分析設備(如 LC, EMMI 等) 確認漏電位置, 在以化學方式逐層去除(Delayer),再以高倍的電子顯微鏡(SEM)來分析.

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